PRODUCTS & SOLUTIONS
製品・ソリューション
半導体製造装置の排気ライン加熱から、産業用ヒーター、クリーンルーム・ESD対策製品まで。使用環境と課題に合わせた製品をご提案します。
FIND BY CHALLENGE
課題から探す
製品名がわからない場合は、現在の課題から関連製品をご確認いただけます。
SEMICONDUCTOR / EXHAUST LINE
半導体・排気ライン加熱
排気配管の温度維持、凝縮・固化・副生成物の堆積対策に向けた加熱ソリューションです。
注目製品
INTEGRATED HEATING
ThermoFlex™ Heating Bellows
配管とヒーターを一体化し、熱効率・安全性・メンテナンス性を高めた加熱ベローズです。
- 配管とヒーターの一体構造
- 均一加熱と省エネに貢献
- 半導体排気ライン向け
HEATING JACKET
配管加熱ヒーター
配管形状と使用温度に合わせて設計する、着脱可能なオーダーメード加熱ソリューションです。
- PTFE・シリコーン・エアロゲル
- 配管形状に合わせた専用設計
- 制御盤・現地施工まで対応
NEW
VORTEX HOT N₂ SYSTEM
VT型 Hot N₂ Heater （Hot Gun）
多孔式ノズルと螺旋渦流により、排気ラインの温度均一化と副生成物の堆積対策を支援します。
- 多孔式・螺旋渦流供給
- 混合後温度を基準に制御
- Dry Pump後段・Scrubber入口向け
INDUSTRIAL / CUSTOM HEATING
産業用ヒーター・カスタム加熱
形状、加熱対象、電源、使用温度など、設備条件に合わせたカスタム製作に対応します。
CUSTOM PIPE HEATER
パイプヒーター
気体・液体・薬品など幅広い加熱用途に対応。既存品の補修から新規設備向けの専用設計までご相談いただけます。
- 各種形状・規格のカスタム製作
- 無溶接で最大13mまで対応可能
- フィン付き・特殊用途にも対応
CLEANROOM / ESD
クリーンルーム・ESD対策
半導体・精密製造現場のクリーンクラスと作業条件に合わせた製品をご提案します。
CLEAN & ESD PRODUCTS
クリーンウェア・帯電防止製品
無塵衣、フード、シューズ、ESD対策用品を用途別にご案内。サイズ相談、カスタム対応、OEMにも対応します。
- ウェア・フード・シューズ
- クリーンクラスとESD仕様に対応
- サイズ相談・OEM対応
TECHNICAL CONSULTATION
製品選定・カスタム仕様をご相談ください
使用温度、配管形状、設置環境、クリーンクラスなどを確認し、用途に合った製品と仕様をご提案します。
Japanese